100nm超純水液體粒子計數(shù)器
液體顆粒計數(shù)器
100nm超純水液體粒子計數(shù)器
什么是電子級超純水？
集成電路的生產(chǎn)，幾乎每道工序都需要超純水進行清洗，工件與水直接接觸，而一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗，而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染，無疑對產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進一步提高，對水中污染物要求亦將更為嚴(yán)格，從六十年代末期，美國五家公司提出的集成電路用純水的水質(zhì)指標(biāo)以來，集成電路每前進一代，雜質(zhì)都要減少1/2-1/10。美國材料實驗學(xué)會（ASTM）1983、1990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo)。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計數(shù)器，采用英國普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測和分析，目前是英國普洛帝分析測試集團向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計數(shù)器產(chǎn)品優(yōu)勢：
應(yīng)用：創(chuàng)新性油水雙系型、多用途、多模塊條件；
技術(shù)：第八代雙激光窄光檢測技術(shù)應(yīng)用；
軟件：分析測試和校準(zhǔn)計量相分離消除干擾；
輸出：IPAD數(shù)據(jù)采集技術(shù)使用；
在線優(yōu)勢：清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線顆粒監(jiān)測和分析，都是PMT-2微納米監(jiān)測儀的經(jīng)典應(yīng)用場所，并為生產(chǎn)線上的重要組成部分。在線、實時、連續(xù)取樣、報警提示，能夠即時掌握顆粒污染診斷和趨勢。
離線優(yōu)勢：移動測量和固定測量顆粒大小及多少雙模式，解決連續(xù)跟蹤監(jiān)測的生產(chǎn)過程難題，無論您是即時測量還是清潔跟蹤監(jiān)測，都會為您提供完善的測試方案，讓您的測試更加快捷。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計數(shù)器應(yīng)用范圍：
可以對清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片、手機零部件、純水機、納米過濾、微米過濾等領(lǐng)域進行固體顆粒污染度檢測，及對有機液體、聚合物溶液進行不溶性微粒的檢測。
PMT-2 100nm超純水液體粒子計數(shù)器技術(shù)參數(shù)：
訂制要求：各類液體檢測要求；
傳感器：第八代雙激光窄光檢測器；
測試軟件：V8.3分析測試軟件集成版&PC版；
測試標(biāo)定：JJG1061或乳膠球或ISO21501-2；
操作方式：彩色液晶觸摸屏操作&無線鍵鼠組合；
檢測范圍：0.1-0.5um、0.1-1.0um、0.05-0.2um；
特殊檢測：自定義1~100μm或者4~70μm（c）微粒，0.1μm或者0.1μm（c）任意檢測；
取樣方式：精準(zhǔn)計量泵；
進樣精度：<±1%
精確度：<±5%典型值；
重合精度：10000粒/mL（5%重合誤差）；
模擬輸出：4mA～20mA接口；并帶超標(biāo)報警功能（可定制）；
報告方法：顆粒數(shù)/ml及污染度等級；
輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；
售后服務(wù)：普洛帝服務(wù)中心/中特計量檢測研究院。
